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3元マグネトロンスパッタ装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
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3元マグネトロンスパッタ装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
・4インチカソード3本
・RF電源500 W 2台 ・逆スパッタ機構
・基盤回転
・シャッター開閉機構による多層膜成長可能
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2024年9月30日
BioJapan2024に出展いたします。