・蒸着チャンバー寸法：ID300×H350mm ・回転：0.5～10rpm
・分解能：1.2nm(30kV) ・倍率：×10～×1,000,000 ・試料……
・最大ウェーハサイズ：3inch（吸引モード），4inch（ソフトコンタクト……
・蛍光励起レーザ：405nm，488nm，561nm，635nm ・対物……
・適応マスク：最大5inch ・適応資料：最大Φ4inch ・有効露光範囲……
・イオン加速電圧：2～6kV ・イオンビーム径：500um（半値幅） ・最大……
・分解能：高さ方向0.01um ・水平方向0.13um ・最大観察倍率：……
・分解能：高さ方向0.01um ・水平方向0.14um ・最大観察倍率：……
・ウェーハサイズ：6inch ・ボッシュプロセス対応
・両面露光が可能 ・対応基板サイズ：最大４インチ ・最小パターン：3.0μm
・測定波数範囲:7800～350cm-1 ・透過および全反射測定対応 ・干渉計……
