SEM用断面試料作製装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点

・イオン加速電圧：2～6 kV
・イオンビーム径：500 um（半値幅）
・最大搭載試料サイズ：幅11 mm × 長さ10 mm × 厚さ2 mm
・試料移動範囲：X軸：±3 mm，Y軸：±3 mm