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両面露光用マスクアライナ - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
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両面露光用マスクアライナ - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
・両面露光が可能
・対応基板サイズ:最大4インチ
・最小パターン:3.0μm
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2024年9月30日
BioJapan2024に出展いたします。