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8元マグネトロンスパッタ装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
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設備紹介
8元マグネトロンスパッタ装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
・2インチカソード8本
・試料サイズ30 mm角
・RF電源 500 W 2台
・1 kV Arイオンエッチング機構
・試料交換室に8サンプルバンク可
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2024年9月30日
BioJapan2024に出展いたします。