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8元MBE装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
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設備紹介
8元MBE装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
・蒸着源:4cc蒸着源4個、2cc蒸着源2個
・試料サイズ30 mm角
・高圧電源3台
・基板加熱:1000℃
・1kV Arイオンエッチング機構
・20 kV RHEED表面観察機能
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2024年9月30日
BioJapan2024に出展いたします。