原子間力顕微鏡 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点

・スキャン領域：XY方向　約90μm，Z方向　約6μm
・試料サイズ：最大150 mmφ－12 mmt
・測定モード　AFM，MFM，EFM，LFM，表面電位顕微鏡，電流像