ECR-SIMSエッチング装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点

（ECRイオンガン：入江工研社製 RGB-114）
・マイクロ波入力150 W
・加速電圧600 V
・イオン照射径30mm （SIMS検出器：PFEIFFER社製 EDP400）
・分析質量1-512 amu
・試料角度調整，回転機構付き