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電子線露光装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
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電子線露光装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
・加速電圧:25/50/100kV
・最小ビーム径:2nm
・ビーム電流:100pA-2nA
・重ね合わせ精度:±9nm
・最大試料サイズ:8inchφ
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2024年9月30日
BioJapan2024に出展いたします。