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ICPエッチング装置 - 名古屋大学次世代バイオマテリアル拠点
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ICPエッチング装置 - 名古屋大学次世代バイオマテリアル拠点
・対応基板サイズ:2インチ x 4枚
・プロセスガス:Cl2, BCl3, O2
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2024年9月30日
BioJapan2024に出展いたします。