in-situプラズマ照射表面分析装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点

in-situプラズマ照射表面分析装置

・プラズマ照射後の表面のin-situ XPS，FT-IR，STM分析が可能．
・プロセスガス：H2，N2，O2，Ar，He，SiH4，SF6，CF4

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