レーザ描画装置 - 名古屋大学次世代バイオマテリアル拠点

レーザ描画装置

・対応基板：100 mm ×100 mm
・加工精度：3 µm
・最小アドレスグリッド：100 nm
・対応データ：DXF，CIF，BMP

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