両面露光用マスクアライナ - 名古屋大学次世代バイオマテリアル拠点

・最大ウェーハサイズ：3 inch（吸引モード），4 inch（ソフトコンタクト）
・照射範囲：3×3 inch
・対応基板厚さ：4.5 mm 両面露光：可能（赤外線照明）