フォトリソグラフィ装置群 - 名古屋大学次世代バイオマテリアル拠点

フォトリソグラフィ装置群

・最大2インチ基板
・マスクサイズ：３インチ
・最小パタンサイズ　２µm
・スピンコータ，ベーク炉，ドラフトチャンバー利用可

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