表面解析プラズマビーム装置 - 名古屋大学次世代バイオマテリアル拠点

・プラズマビームを材料表面に照射後のin-situ XPS評価により，表面-プラズマ間の反応の解析が可能．
・使用ガス：HBr，Ar，CF4，C4F8，Cl2，H2，N2．O2