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リアクティブイオンエッチング装置 - 名古屋大学次世代バイオマテリアル拠点
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リアクティブイオンエッチング装置 - 名古屋大学次世代バイオマテリアル拠点
・CF4,SF6,O2使用可能
・電極径:210 mmΦ
・最大RF電力::300W
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2024年9月30日
BioJapan2024に出展いたします。