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RIEエッチング装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
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RIEエッチング装置 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点
・シリコン系エッチング
・対応基板サイズ:最大8インチ
・プロセスガス:CF4,Ar,SF6,O2
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2024年9月30日
BioJapan2024に出展いたします。