走査型電子顕微鏡（SEM） - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点

・電界放出形電子銃　
・二次電子分解能：1.0nm（15kV）、1.4nm（1kV）　
・倍率：×25～1,000,000　加速電圧：0.1～30kV　
・ジェントルビーム
・オプション：リトラクタブル反射電子検出器(RBEI)、エネルギー分散形X線分析装置(EDS)