・最大サンプルサイズ：φ160×厚さ48mm ・再現性 ：1σ 1nm以内 ・測定範囲 ：Z：600 µm，X：100mm ・分解能 ：Z：0.1 nm，X：0.1 µm ・測定力：10 µN〜500 µN
