超高密度大気圧プラズマ装置 - 名古屋大学次世代バイオマテリアル拠点

超高密度大気圧プラズマ装置

・大気圧プラズマ中のラジカルを用いた材料の表面処理（改質、洗浄）
・使用ガス：Ar，N2．Ar+O2
・電源：AC交流電源、9 kV，60 Hz

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