利用料金 - 名古屋大学 次世代バイオマテリアル・拠点

本事業の主旨として利用者に相応の料金（機器利用、技術補助）をご負担いただきます。

金額は、1時間当たりの税込み価格（円）です。
装置の保守管理上、初回の場合はレクチャーを受けていただくことをお願いしております。
※レクチャー対応時間は「技術代行料」の料金が適用になります。


料金表をPDFでダウンロードする
番号 装置番号名称 データ
登録		 依頼測定 (技術代行) 直接測定 (技術補助) 直接測定
学内者 学外者 学内者 学外者 学内者 学外者
非営利
法人		 営利
法人		 非営利
法人		 営利
法人		 非営利
法人		 営利
法人
NU-001 全自動元素分析装置
Perkin Elmer社製　2400Ⅱ　CHNS/O		 未登録 700 5,300 6,300 700 3,100 3,800 700 1,300 1,800
登録 3,800 4,500 2,200 2,700 1,000 1,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,000 8,200 — 4,300 5,100 — 2,100 2,700
NU-002 X線粉末回折装置
リガク社製　Smart Lab 3K1d/2dDSC		 未登録 700 5,300 6,300 700 3,100 3,800 700 1,300 1,800
登録 3,800 4,500 2,200 2,700 1,000 1,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,000 8,200 — 4,300 5,100 — 2,100 2,700
NU-003 蛍光X線分析装置
リガク社製　EDXL 300		 未登録 400 5,000 5,700 400 2,800 3,200 400 1,000 1,200
登録 3,500 4,000 2,000 2,300 700 900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,600 7,600 — 3,900 4,500 — 1,700 2,100
NU-004 走査型電子顕微鏡（SEM）
JEOL社製　JSM-7500F		 未登録 300 4,900 6,700 300 2,700 4,200 300 900 2,200
登録 3,500 4,700 1,900 3,000 700 1,600
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,600 8,800 — 3,900 5,700 — 1,700 3,300
NU-006(1) 電子円二色性
JASCO社製　ECD　J-702YS		 未登録 300 4,900 5,700 300 2,700 3,200 300 900 1,200
登録 3,500 4,000 1,900 2,300 700 900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,600 7,600 — 3,900 4,500 — 1,700 2,100
NU-006(2) 拡散反射円二色性分光装置
JASCO社製　DRCD　PCD-466		 未登録 300 4,900 5,700 300 2,700 3,200 300 900 1,200
登録 3,500 4,000 1,900 2,300 700 900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,500 7,400 — 3,800 4,300 — 1,600 1,900
NU-006(3) 振動円二色性
JASCO社製　VCD FVS-6000		 未登録 400 5,000 5,700 400 2,800 3,200 400 1,000 1,200
登録 3,500 4,000 2,000 2,300 700 900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,400 7,300 — 3,700 4,200 — 1,500 1,800
NU-007 液体ｸﾛﾏﾄｸﾞﾗﾌｨｰ
JASCO社製		 未登録 200 4,900 5,600 200 2,700 3,100 200 900 1,100
登録 3,500 4,000 1,900 2,200 700 800
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,500 7,400 — 3,800 4,300 — 1,600 1,900
NU-013 動的光散乱（DLS）
Malvern社製　Zetasizer Nano ZS		 未登録 300 4,900 5,600 300 2,700 3,100 300 900 1,100
登録 3,500 4,000 1,900 2,200 700 800
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,200 7,100 — 3,500 4,000 — 1,300 1,600
NU-018 MALDI TOF 型質量分析装置
Bruker社製、MALDI TOF MS　autoflex maX		 未登録 1,300 6,000 7,000 1,300 3,800 4,500 1,300 2,000 2,500
登録 4,200 4,900 2,700 3,200 1,400 1,800
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,100 9,400 — 5,400 6,300 — 3,200 3,900
NU-019 微小単結晶X線構造解析装置
Rigaku(株)製　VariMax		 未登録 800 5,500 7,300 800 3,300 4,800 800 1,500 2,800
登録 3,900 5,200 2,400 3,400 1,100 2,000
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,200 9,500 — 4,500 6,400 — 2,300 4,000
NU-020 粒径測定装置　ゼータ電位・粒径測定シ ステム(ゼータ電位、粒径・粒度分布）
大塚電子(株)製　ELSZ-2		 未登録 100 4,600 5,300 100 2,400 2,800 100 600 800
登録 3,300 3,800 1,700 2,000 500 600
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,200 7,100 — 3,500 4,000 — 1,300 1,600
NU-021 ナノバイオ分子合成・超解像解析評価システム
ニコン(製)A1R+A1RMP+多光子共焦点レーザー顕微鏡/ ニコン(製)N-SIM ＋N-STORM超解像顕微鏡/日本電子(製)JASM-6200ClairScope		 未登録 3,000 7,900 11,500 3,000 5,700 9,000 3,000 3,900 7,000
登録 5,600 8,100 4,000 6,300 2,800 4,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 13,300 18,000 — 10,600 14,900 — 8,400 12,500
NU-022 発光・蛍光in vivoイメージングシステム
PerkinElmer社製、IVIS Lumina K ver4.4		 未登録 800 5,500 6,400 800 3,300 3,900 800 1,500 1,900
登録 3,900 4,500 2,400 2,800 1,100 1,400
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,600 8,600 — 4,900 5,500 — 2,700 3,100
NU-023 実験小動物用MRIシステム
DSファーマバイオメディカル社製、MR VivoLVA®アカデミックモデル1506		 未登録 500 5,100 6,000 500 2,900 3,500 500 1,100 1,500
登録 3,600 4,200 2,100 2,500 800 1,100
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,600 7,700 — 3,900 4,600 — 1,700 2,200
NU-024 フローサイトメーター
BD Biosciences社製、BD LSRFortessa™ X-20		 未登録 1,000 5,700 6,600 1,000 3,500 4,100 1,000 1,700 2,100
登録 4,000 4,700 2,500 2,900 1,200 1,500
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,600 8,800 — 4,900 5,700 — 2,700 3,300
NU-025 X線CT・蛍光ダブルモーダルin vivoイメージングシステム
PerkinElmer社製、IVIS Spectrum CT		 未登録 1,200 5,800 6,800 1,200 3,600 4,300 1,200 1,800 2,300
登録 4,100 4,800 2,600 3,100 1,300 1,700
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,800 10,100 — 6,100 7,000 — 3,900 4,600
NU-026 高速多光子共焦点レーザー顕微鏡システム
（株）ニコン　ソリューションズ製　AXR-MP		 未登録 1,700 6,600 7,600 1,700 4,300 5,100 1,700 2,500 3,100
登録 4,700 5,400 3,100 3,600 1,800 2,200
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,000 10,500 — 6,300 7,400 — 4,100 5,000
NU-027 超高感度プロテオミクス質量分析装置システム
Bruker社製、ESI TIMS-QTOF MS times TOF Pro2		 未登録 3,400 8,500 9,800 3,400 6,200 7,300 3,400 4,400 5,300
登録 6,000 6,900 4,400 5,200 3,100 3,800
(オプション)研究成果非公開使用料 — 14,600 16,700 — 11,900 13,600 — 9,700 11,200
(ｵﾌﾟｼｮﾝ)前処理料　※1検体あたり 6,000
  • 研究成果非公開使用量は、共用機器１時間あたりのオプション料金であり、別途加算する。
  • 上記共用機器使用量は、文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ事業」の採択により軽減されております。
    事業終了後は、通常の料金設定となります。

特別セット使用料（1セットあたり、前処理料を含む）

単位：円、消費税込み
番号 共用機器名 データ登録 セット 依頼測定時（技術代行）
学外者
非営利法人
NU-027 超高感度プロテオミクス質量分析装置システム
Bruker社製、ESI TIMS-QTOF MS times TOF Pro2		 登録 10検体 60,000
20検体 120,000
30検体 180,000
40検体 240,000
50検体 300,000
  • 特別セット使用量は文部科学省「データ創出・活用型マテリアル研究開発プロジェクト」実施機関を適用対象とする。

コンサルティング料金（１時間あたり）

単位：円、消費税込み
コンサルティング料 6,500
料金表をPDFでダウンロードする
料金表をPDFでダウンロードする
番号 装置番号名称 データ
登録		 依頼測定 (技術代行) 直接測定 (技術補助) 直接測定
学内者 学外者 学内者 学外者 学内者 学外者
非営利
法人		 営利
法人		 非営利
法人		 営利
法人		 非営利
法人		 営利
法人
NU-201 イオン注入装置
日新電機社製　NH-20SR-WMH		 未登録 700 7,400 9,400 700 5,200 6,900 700 3,400 4,900
登録 5,200 6,600 3,700 4,900 2,400 3,500
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,200 11,700 — 6,500 8,600 — 4,300 6,200
NU-202 急速加熱処理装置
AG Associates社製　Heatpulse610		 未登録 1,800 6,700 7,900 1,800 4,500 5,400 1,800 2,700 3,400
登録 4,700 5,600 3,200 3,800 1,900 2,400
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,700 10,100 — 6,000 7,000 — 3,800 4,600
NU-204 原子間力顕微鏡
Bruker社製　AXS　Dimension3100		 未登録 1,000 5,700 6,800 1,000 3,500 4,300 1,000 1,700 2,300
登録 4,000 4,800 2,500 3,100 1,200 1,700
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,900 9,500 — 5,200 6,400 — 3,000 4,000
NU-205 3元ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｽﾊﾟｯﾀ装置
島津製作所製　HSR-522		 未登録 1,500 6,300 7,700 1,500 4,100 5,200 1,500 2,300 3,200
登録 4,500 5,400 2,900 3,700 1,700 2,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,700 10,500 — 6,000 7,400 — 3,800 5,000
NU-206 電子線露光装置
日本電子社製　JBX6300FS		 未登録 3,700 8,800 11,500 3,700 6,600 9,000 3,700 4,800 7,000
登録 6,200 8,100 4,700 6,300 3,400 4,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 13,500 17,100 — 10,800 14,000 — 8,600 11,600
NU-207 X線光電子分光装置
VG社製　ESCALAB250		 未登録 2,300 7,300 8,900 2,300 5,100 6,400 2,300 3,300 4,400
登録 5,200 6,300 3,600 4,500 2,400 3,100
(オプション)研究成果非公開使用料 — 10,200 12,300 — 7,500 9,200 — 5,300 6,800
NU-208 マスクアライナ一式
(1)Suss MicroTec AG製　MA-6		 未登録 2,500 7,700 9,200 2,500 5,500 6,700 2,500 3,700 4,700
登録 5,400 6,500 3,900 4,700 2,600 3,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 10,500 12,400 — 7,800 9,300 — 5,600 6,900
NU-209 ICPエッチング装置一式
サムコ製　RIE-800		 未登録 10,600 16,900 19,700 10,600 14,700 17,200 10,600 12,900 15,200
登録 11,900 13,800 10,300 12,100 9,100 10,700
(オプション)研究成果非公開使用料 — 26,500 30,500 — 23,800 27,400 — 21,600 25,000
NU-210 ダイシングソー装置
サムコ製　DAD522		 未登録 2,800 7,800 9,100 2,800 5,600 6,600 2,800 3,800 4,600
登録 5,500 6,400 4,000 4,700 2,700 3,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 11,100 12,900 — 8,400 9,800 — 6,200 7,400
NU-211 フェムト秒レーザー加工分析システム
UFL-Hybrid		 未登録 3,800 9,000 11,200 3,800 6,800 8,700 3,800 5,000 6,700
登録 6,300 7,900 4,800 6,100 3,500 4,700
(オプション)研究成果非公開使用料 — 11,000 13,600 — 8,300 10,500 — 6,100 8,100
NU-213 8元ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｽﾊﾟｯﾀ装置 未登録 1,600 6,500 8,000 1,600 4,300 5,500 1,600 2,500 3,500
登録 4,600 5,600 3,100 3,900 1,800 2,500
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,900 9,700 — 5,200 6,600 — 3,000 4,200
NU-214 8元MBE装置 未登録 2,400 7,500 9,100 2,400 5,300 6,600 2,400 3,500 4,600
登録 5,300 6,400 3,800 4,700 2,500 3,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,200 11,100 — 6,500 8,000 — 4,300 5,600
NU-215 ECR-SIMSエッチング装置 未登録 1,000 5,800 7,300 1,000 3,600 4,800 1,000 1,800 2,800
登録 4,100 5,200 2,600 3,400 1,300 2,000
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,100 8,900 — 4,400 5,800 — 2,200 3,400
NU-216 スプレーコーター一式
サンメイ製　DC110		 未登録 1,800 6,900 8,000 1,800 4,700 5,500 1,800 2,900 3,500
登録 4,900 5,600 3,300 3,900 2,100 2,500
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,400 9,700 — 5,700 6,600 — 3,500 4,200
NU-218 電気炉
光洋ﾘﾝﾄﾞﾊﾞｰｸﾞ社製　MODEL272-2		 未登録 2,300 7,300 8,700 2,300 5,100 6,200 2,300 3,300 4,200
登録 5,200 6,100 3,600 4,400 2,400 3,000
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,900 10,600 — 6,200 7,500 — 4,000 5,100
NU-219 酸化・拡散炉
光洋リンドバーグ社製　MODEL270-M100		 未登録 1,700 6,900 8,600 1,700 4,700 6,100 1,700 2,900 4,100
登録 4,900 6,100 3,300 4,300 2,100 2,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,400 10,500 — 5,700 7,400 — 3,500 5,000
NU-220 小型微細形状測定機一式
小坂研究所製　ET200		 未登録 1,700 6,800 7,800 1,700 4,600 5,300 1,700 2,800 3,300
登録 4,800 5,500 3,300 3,800 2,000 2,400
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,300 9,500 — 5,600 6,400 — 3,400 4,000
NU-221 プラズマCVD装置
サムコ製　PD-240		 未登録 1,600 6,500 8,000 1,600 4,300 5,500 1,600 2,500 3,500
登録 4,600 5,600 3,100 3,900 1,800 2,500
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,900 9,700 — 5,200 6,600 — 3,000 4,200
NU-222 レーザー描画装置
Heidelberg Instruments社製　DWL66FS		 未登録 1,500 6,200 7,600 1,500 4,000 5,100 1,500 2,200 3,100
登録 4,400 5,400 2,800 3,600 1,600 2,200
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,200 9,900 — 5,500 6,800 — 3,300 4,400
NU-223 ﾌｫﾄﾘｿｸﾞﾗﾌｨ装置
ｳｼｵ電機社製 ﾏﾙﾁﾗｲﾄML251A/B、共和理研社製 ｽﾋﾟﾝﾅｰK-359SD-1		 未登録 1,100 5,900 7,300 1,100 3,700 4,800 1,100 1,900 2,800
登録 4,200 5,200 2,600 3,400 1,400 2,000
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,500 9,200 — 4,800 6,100 — 2,600 3,700
NU-224 電子ビーム蒸着装置
アルバック社製　EBX-10D		 未登録 1,500 6,200 7,500 1,500 4,000 5,000 1,500 2,200 3,000
登録 4,400 5,300 2,800 3,500 1,600 2,100
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,900 9,500 — 5,200 6,400 — 3,000 4,000
NU-225 ICPエッチング装置
アルバック社製　CE-300I

  • （　）内は１回あたりの料金
    試料を高真空中に保持し作製（約８時間）する場合
 未登録 2,100
(25,600)		 7,000
(80,300)		  8,400
(94,100)		 2,100
(25,600)		 4,800
(55,700)		 5,900
(66,300)		 2,100
(25,600)		 3,000
(36,100)		 3,900
(44,100)
登録 4,900
(56,300)		 5,900
(65,900)		 3,400
(39,000)		 4,200
(46,500)		 2,100
(25,300)		 2,800
(30,900)
(オプション)研究成果非公開使用料

  • （　）内は１回あたりの料金
    試料を高真空中に保持し作製（約８時間）する場合
 — 9,300
(105,400)		 11,100
(122,400)		 — 6,600
(75,700)		 8,000
(88,900)		 — 4,400
(51,900)		 5,600
(62,000)
NU-226 RIEエッチング装置
サムコ社製　RIE-10NR		 未登録 1,300 6,000 7,000 1,300 3,800 4,500 1,300 2,000 2,500
登録 4,200 4,900 2,700 3,200 1,400 1,800
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,900 9,200 — 5,200 6,100 — 3,000 3,700
NU-227 走査型電子顕微鏡
日立ﾊｲﾃｸﾌｨｰﾙﾃﾞｨﾝｸﾞ社製　S5200		 未登録 1,800 6,600 8,100 1,800 4,400 5,600 1,800 2,600 3,600
登録 4,700 5,700 3,100 4,000 1,900 2,600
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,000 10,900 — 6,300 7,800 — 4,100 5,400
NU-228 走査型電子顕微鏡
日立ハイテクフィールディング社製Ｓ4300		 未登録 2,000 6,900 8,200 2,000 4,700 5,700 2,000 2,900 3,700
登録 4,900 5,800 3,300 4,000 2,100 2,600
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,400 10,000 — 5,700 6,900 — 3,500 4,500
NU-229 ｽﾊﾟｯﾀ絶縁膜作製装置
MESｱﾌﾃｨ社製　AFTEX-3420		 未登録 1,500 6,300 7,600 1,500 4,100 5,100 1,500 2,300 3,100
登録 4,500 5,400 2,900 3,600 1,700 2,200
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,700 9,200 — 5,000 6,100 — 2,800 3,700
NU-231 マスクレス露光装置
ナノシステムソリューションズ製　DL-1000		 未登録 1,600 6,700 8,000 1,600 4,500 5,500 1,600 2,700 3,500
登録 4,700 5,600 3,200 3,900 1,900 2,500
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,200 9,700 — 5,500 6,600 — 3,300 4,200
NU-232 原子層堆積装置
サムコ製　AD-100LE		 未登録 4,100 9,500 11,300 4,100 7,300 8,800 4,100 5,500 6,800
登録 6,700 8,000 5,200 6,200 3,900 4,800
(オプション)研究成果非公開使用料 — 11,600 13,700 — 8,900 10,600 — 6,700 8,200
NU-233 蛍光りん光分光光度計
堀場製作所製　Fluoromax-4P		 未登録 200 5,200 6,100 200 3,000 3,600 200 1,200 1,600
登録 3,700 4,300 2,100 2,600 900 1,200
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,400 7,400 — 3,700 4,300 — 1,500 1,900
NU-234 ICPエッチング装置
サムコ 社製　RIE-200iPN		 未登録 2,900 8,000 9,600 2,900 5,800 7,100 2,900 4,000 5,100
登録 5,600 6,800 4,100 5,000 2,800 3,600
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,800 11,700 — 7,100 8,600 — 4,900 6,200
NU-235 超高密度大気圧ﾌﾟﾗｽﾞﾏ装置
富士機械製造(株)社製		 未登録 700 5,400 6,300 700 3,200 3,800 700 1,400 1,800
登録 3,800 4,500 2,300 2,700 1,000 1,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,100 8,200 — 4,400 5,100 — 2,200 2,700
NU-236 In-situ　電子スピン共鳴（ESR)
Bruker社製　EMX Premium X		 未登録 2,000 6,900 8,000 2,000 4,700 5,500 2,000 2,900 3,500
登録 4,900 5,600 3,300 3,900 2,100 2,500
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,200 10,500 — 6,500 7,400 — 4,300 5,000
NU-237 ﾗｼﾞｶﾙ計測付多目的ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾌﾟﾛｾｽ装置 未登録 1,800 6,600 8,000 1,800 4,400 5,500 1,800 2,600 3,500
登録 4,700 5,600 3,100 3,900 1,900 2,500
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,400 11,300 — 6,700 8,200 — 4,500 5,800
NU-238 高温プロセス用誘導結合型プラズマエッチング装置
NUシステム製　NU-RC/Cl-Etch		 未登録 2,800 7,800 9,100 2,800 5,600 6,600 2,800 3,800 4,600
登録 5,500 6,400 4,000 4,700 2,700 3,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 11,200 13,000 — 8,500 9,900 — 6,300 7,500
NU-239 表面解析プラズマビーム装置
NUシステム製　LIA-Plasma Beam/CF&Cl System		 未登録 3,700 8,800 11,700 3,700 6,600 9,200 3,700 4,800 7,200
登録 6,200 8,200 4,700 6,500 3,400 5,100
(オプション)研究成果非公開使用料 — 13,900 17,800 — 11,200 14,700 — 9,000 12,300
NU-240 in-situプラズマ照射表面分析装置
JEM-ARM200F Cold		 未登録 2,900 7,900 9,900 2,900 5,700 7,400 2,900 3,900 5,400
登録 5,600 7,000 4,000 5,200 2,800 3,800
(オプション)研究成果非公開使用料 — 12,400 15,100 — 9,700 12,000 — 7,500 9,600
NU-241 超高密度液中ﾌﾟﾗｽﾞﾏ装置
NUｼｽﾃﾑ社製		 未登録 1,100 5,900 6,700 1,100 3,700 4,200 1,100 1,900 2,200
登録 4,200 4,700 2,600 3,000 1,400 1,600
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,200 8,200 — 4,500 5,100 — 2,300 2,700
NU-242 大気圧IAMS（ｲｵﾝ付着質量分析器）
ｷｬﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ社製		 未登録 1,800 6,700 7,700 1,800 4,500 5,200 1,800 2,700 3,200
登録 4,700 5,400 3,200 3,700 1,900 2,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,200 9,400 — 5,500 6,300 — 3,300 3,900
NU-243 真空紫外吸収分光計（原子ﾗｼﾞｶﾙﾓﾆﾀｰ）
NUｼｽﾃﾑ社製		 未登録 2,900 7,900 9,100 2,900 5,700 6,600 2,900 3,900 4,600
登録 5,600 6,400 4,000 4,700 2,800 3,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,600 11,100 — 6,900 8,000 — 4,700 5,600
NU-245 レーザ描画装置一式
Heidelberg製　mPG101-UV		 未登録 3,100 8,300 9,700 3,100 6,100 7,200 3,100 4,300 5,200
登録 5,900 6,800 4,300 5,100 3,100 3,700
(オプション)研究成果非公開使用料 — 11,900 13,800 — 9,200 10,700 — 7,000 8,300
NU-246(1) スパッタリング装置一式
キャノンアネルバ製　E-200S		 未登録 4,000 9,300 10,900 4,000 7,100 8,400 4,000 5,300 6,400
登録 6,600 7,700 5,000 5,900 3,800 4,500
(オプション)研究成果非公開使用料 — 13,600 15,800 — 10,900 12,700 — 8,700 10,300
NU-246(2) 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
(1)Nanoscribe製　ﾌｫﾄﾆｯｸ･ﾌﾟﾛﾌｪｯｼｮﾅﾙ		 未登録 2,600 7,700 9,300 2,600 5,500 6,800 2,600 3,700 4,800
登録 5,400 6,600 3,900 4,800 2,600 3,400
(オプション)研究成果非公開使用料 — 10,700 13,000 — 8,000 9,900 — 5,800 7,500
NU-247 3次元レーザ・リソグラフィシステム一式
(2)KISCO製　SCLEAD3CD2000		 未登録 700 5,500 6,500 700 3,300 4,000 700 1,500 2,000
登録 3,900 4,600 2,400 2,800 1,100 1,400
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,100 8,400 — 4,400 5,300 — 2,200 2,900
NU-248 ナノインプリント装置一式
SCIVAX製　X-300　BVU-ND		 未登録 1,700 6,900 8,300 1,700 4,700 5,800 1,700 2,900 3,800
登録 4,900 5,900 3,300 4,100 2,100 2,700
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,900 10,700 — 6,200 7,600 — 4,000 5,200
NU-249 パリレンコーティング装置一式
KISCO製　DACS-LAB		 未登録 400 5,300 6,300 400 3,100 3,800 400 1,300 1,800
登録 3,800 4,500 2,200 2,700 1,000 1,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,500 7,700 — 3,800 4,600 — 1,600 2,200
NU-250 マスクアライナ一式
(2)Suss MicroTec AG製　MJB-3		 未登録 1,200 6,400 7,500 1,200 4,200 5,000 1,200 2,400 3,000
登録 4,500 5,300 3,000 3,500 1,700 2,100
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,800 9,100 — 5,100 6,000 — 2,900 3,600
NU-251 マスクアライナ一式
(3)ナノテック製　LA410		 未登録 1,100 6,300 7,400 1,100 4,100 4,900 1,100 2,300 2,900
登録 4,500 5,200 2,900 3,500 1,700 2,100
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,700 9,000 — 5,000 5,900 — 2,800 3,500
NU-252 蛍光バイオイメージング装置一式
共焦点レーザ顕微鏡システム　ニコン製 A1Rsi-N		 未登録 1,100 5,900 7,200 1,100 3,700 4,700 1,100 1,900 2,700
登録 4,200 5,100 2,600 3,300 1,400 1,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,200 8,800 — 4,500 5,700 — 2,300 3,300
NU-253 SEM用断面試料作製装置
JEOL製　SM-09010		 未登録 700 5,700 6,500 700 3,500 4,000 700 1,700 2,000
登録 4,000 4,600 2,500 2,800 1,200 1,400
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,000 7,900 — 4,300 4,800 — 2,100 2,400
NU-254 デジタルマイクロスコープ一式
KEYENCE製　VK-9700		 未登録 1,000 5,900 6,900 1,000 3,700 4,400 1,000 1,900 2,400
登録 4,200 4,900 2,600 3,100 1,400 1,700
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,200 8,400 — 4,500 5,300 — 2,300 2,900
NU-255 デジタルマイクロスコープ一式
KEYENCE製　VK-9510		 未登録 800 5,500 6,400 800 3,300 3,900 800 1,500 1,900
登録 3,900 4,500 2,400 2,800 1,100 1,400
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,700 7,800 — 4,000 4,700 — 1,800 2,300
NU-256 Deep Si Etcher
住友精密工業製　Multiplex-ASE		 未登録 8,800 14,900 17,700 8,800 12,700 15,200 8,800 10,900 13,200
登録 10,500 12,400 8,900 10,700 7,700 9,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 18,100 21,500 — 15,400 18,400 — 13,200 16,000
NU-257 露光プロセス装置一式
ユニオン光学社製　PEM800		 未登録 700 5,500 6,600 700 3,300 4,100 700 1,500 2,100
登録 3,900 4,700 2,400 2,900 1,100 1,500
(オプション)研究成果非公開使用料 — 6,700 8,000 — 4,000 4,900 — 1,800 2,500
NU-258 フーリエ変換赤外分光分析装置
日本分光社製　FT/IR-615V型		 未登録 1,100 5,900 7,100 1,100 3,700 4,600 1,100 1,900 2,600
登録 4,200 5,000 2,600 3,300 1,400 1,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,200 8,600 — 4,500 5,500 — 2,300 3,100
NU-259(1) 磁気特性評価システム
(1)交番磁界勾配型磁力計		 未登録 1,200 6,000 7,100 1,200 3,800 4,600 1,200 2,000 2,600
登録 4,200 5,000 2,700 3,300 1,400 1,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,300 8,600 — 4,600 5,500 — 2,400 3,100
NU-259(2) 磁気特性評価システム
(5)振動試料型磁力計　TM-VSM271483-HGC		 未登録 1,300 6,300 7,500 1,300 4,000 4,900 1,300 2,200 2,900
登録 4,500 5,300 2,800 3,500 1,600 2,100
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,600 9,000 — 4,900 6,000 — 2,700 3,500
NU-259(3) 磁気特性評価システム
(3)トルク磁力計		 未登録 1,000 5,800 6,800 1,000 3,600 4,300 1,000 1,800 2,300
登録 4,100 4,800 2,600 3,100 1,300 1,700
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,100 8,300 — 4,400 5,200 — 2,200 2,800
NU-259(4) 磁気特性評価システム
(4)磁気光学スペクトロメータ		 未登録 1,100 5,900 7,100 1,100 3,700 4,600 1,100 1,900 2,600
登録 4,200 5,000 2,600 3,300 1,400 1,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,200 8,600 — 4,500 5,500 — 2,300 3,100
NU-260 マスクレス露光装置
ネオアーク製　PALET DDB-701-DL4		 未登録 1,300 6,300 7,200 1,300 4,000 4,700 1,300 2,200 2,700
登録 4,500 5,100 2,800 3,300 1,600 1,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,600 8,800 — 4,900 5,700 — 2,700 3,300
NU-261 段差計
小坂研究所製　ET200A		 未登録 1,000 5,900 6,800 1,000 3,600 4,300 1,000 1,800 2,300
登録 4,200 4,800 2,600 3,100 1,300 1,700
(オプション)研究成果非公開使用料 — 7,100 8,300 — 4,400 5,200 — 2,200 2,800
NU-262 プラズマ誘起CVD装置
サムコ社製　PD-220N		 未登録  4,200 9,700 11,300  4,200 7,400 8,700  4,200 5,600 6,700
登録 6,800 8,000 5,200 6,100 4,200 4,700
(オプション)研究成果非公開使用料 — 11,700 13,600 — 9,000 10,600 — 6,800 8,100
NU-263 高分解能走査型電子顕微鏡
日本電子製　JSM-IT800SHL		 未登録 1,500 6,400 7,700 1,500 4,100 5,100 1,500 2,300 3,100
登録 4,500 5,400 2,900 3,600 1,700 2,200
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,000 10,800 — 6,300 7,800 — 4,100 5,300
NU-264 原子間力顕微鏡
パーク・システムズ社製　NX20		 未登録 1,300 6,200 7,300 1,300 3,900 4,700 1,300 2,100 2,700
登録 4,400 5,200 2,800 3,300 1,500 1,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,800 10,300 — 6,100 7,300 — 3,900 4,800
NU-265 物理特性測定装置
日本カンタム・デザイン社製　DynaCool12T		 未登録 2,300 7,300 8,700 2,300 5,000 6,100 2,300 3,200 4,100
登録 5,200 6,100 3,500 4,300 2,300 2,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 10,200 12,000 — 7,500 9,000 — 5,300 6,500
NU-266 全自動X線回折装置
リガク製　SmartLab 9kW		 未登録 1,700 6,700 8,000 1,700 4,400 5,400 1,700 2,600 3,400
登録 4,700 5,600 3,100 3,800 1,900 2,400
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,300 10,900 — 6,600 7,900 — 4,400 5,400
NU-267 RIEエッチング装置
サムコ社製　RIE-10NR		 未登録 1,900 6,900 8,100 1,900 4,600 5,500 1,900 2,800 3,500
登録 4,900 5,700 3,300 3,900 2,000 2,500
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,300 10,800 — 6,600 7,800 — 4,400 5,300
NU-268 電子線描画用データ処理ソフトウェア
GenISys社製　BEAMER		 未登録 1,700 6,700 7,700 1,700 4,400 5,100 1,700 2,600 3,100
登録 4,700 5,400 3,100 3,600 1,900 2,200
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,100 9,200 — 5,400 6,200 — 3,200 3,700
  • 研究成果非公開使用量は、共用機器１時間あたりのオプション料金であり、別途加算する。
  • 上記共用機器使用量は、文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ事業」の採択により軽減されております。
    事業終了後は、通常の料金設定となります。

Ⅱ　算出内訳　別紙１のとおり
Ⅲ　項目別算出基礎　別紙２のとおり
Ⅳ　解析手数料（１時間当たり）

単位：円、消費税込み
解析手数料 学内者 学外者
非営利法人 営利法人
— 5,900 6,600
料金表をPDFでダウンロードする
料金表をPDFでダウンロードする
番号 装置番号名称 データ
登録		 依頼測定 (技術代行) 直接測定 (技術補助) 直接測定
学内者 学外者 学内者 学外者 学内者 学外者
非営利
法人		 営利
法人		 非営利
法人		 営利
法人		 非営利
法人		 営利
法人
NU-101 反応科学超伝導走査透過電子顕微鏡システム
JEM-1000K RS		 未登録 — 10,400 22,500 3,100 7,900 20,000 3,100 5,900 18,000
登録 10,900 7,300 15,800 5,600 14,000 12,600
(オプション)研究成果非公開使用料 — 12,600 27,300 — 9,500 24,200 — 7,100 21,800
NU-102 先端計測電子顕微鏡走査透過電子顕微鏡システム
JEM-ARM200F Cold		 未登録 — 8,100 12,900 1,300 5,600 10,400 1,300 3,600 8,400
登録 5,700 9,100 4,000 7,300 2,600 5,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,900 15,700 — 6,800 12,600 — 4,400 10,200
NU-103 高分解能透過型電子顕微鏡システム
JEM-2100F/HK		 未登録 — 7,600 12,000 900 5,100 9,500 900 3,100 7,500
登録 5,400 8,400 3,600 6,700 2,200 5,300
(オプション)研究成果非公開使用料 — 9,200 14,600 — 6,100 11,500 — 3,700 9,100
NU-104 直交配置型高速加工観察分析装置
ＭＩ4000Ｌ		 未登録 — 9,000 12,200 1,700 6,500 9,700 1,700 4,500 7,700
登録 6,300 8,600 4,600 6,800 3,200 5,400
(オプション)研究成果非公開使用料 — 10,900 14,800 — 7,800 11,700 — 5,400 9,300
NU-105 バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム
NX-5000		 未登録 — 9,300 12,800 1,700 6,800 10,300 1,700 4,800 8,300
登録 6,600 9,000 4,800 7,300 3,400 5,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 11,300 15,500 — 8,200 12,400 — 5,800 10,000
NU-106(1) 金属イオン照射試料作成装置
PIPS-Ⅱ		 未登録 — 6,700 7,100 200 4,200 4,600 200 2,200 2,600
登録 4,700 5,000 3,000 3,300 1,600 1,900
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,200 8,600 — 5,100 5,500 — 2,700 3,100
NU-106(2) クライオミクロトーム 未登録 — 6,600 7,000 200 4,100 4,500 200 2,100 2,500
登録 4,700 4,900 2,900 3,200 1,500 1,800
(オプション)研究成果非公開使用料 — 8,000 8,500 — 4,900 5,400 — 2,500 3,000
NU-106(3) 超低エネルギーイオンビームTEM試料作製システム
Nano Mill		 未登録 — 30,200 38,900 10,600 27,700 36,400 10,600 25,700 34,400
登録 21,200 27,300 19,400 25,500 18,000 24,100
(オプション)研究成果非公開使用料 — 36,600 47,100 — 33,500 44,000 — 31,100 41,600
  • 研究成果非公開使用量は、共用機器１時間あたりのオプション料金であり、別途加算する。
  • 上記共用機器使用量は、文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ事業」の採択により軽減されております。
    事業終了後は、通常の料金設定となります。

料金

単位：円、消費税込み
解析手数料（１時間あたり） 6,600
コンサルティング（3時間） 66,200
コンサルティング（3時間以上6時間未満） 165,500
コンサルティング（6時間以上8時間） 264,800
料金表をPDFでダウンロードする