加速電圧：80,200kVTEM,STEM,EDSTEM点分解能：0.……
FIB-SEM直交配置FIB,SEM,STEM,ArGun,EDS……
・Mg/Alツインアノード ・AlモノクロX線源 ・Arスパッタ銃 ・角度分解測……
・温度範囲：400～1200℃・昇温速度：200℃/sec
・加速電圧：25/50/100kV ・最小ビーム径：2nm ・ビーム電流：100……
・4インチカソード3本 ・RF電源500W2台・逆スパッタ機構 ・基盤回転……
・スキャン領域：XY方向約90μm，Z方向約6μm ・試料サイズ：最大150……
・線源：CuKα線18kW ・多層膜ミラー，Geモノクロメーター付き ・測定……
・加速電圧：5-200kV・注入電流1µA～100µA
TEM/STEM/SEM観察のための試料作製に関する装置群
FIB-SEMFIB,SEM,STEM,ArGun,EDSFIB,……
・測定濃度範囲：0.001%～10% ・ゼータ電位：-200～2……
