・測定波数範囲:7800～350cm-1 ・透過および全反射測定対応 ・干渉計……
NanoscribePhotonicProfessional ・2次元加工精……
・最大露光面積：200mmx200mm ・最小画素：1µm（高精細露光……
・ターゲット：SiO2，Cr，Au ・膜厚分布：Φ100mm内±3％ ・基板ホ……
・対応基板サイズ：最大3インチ ・酸化膜，窒化膜用
・対応基板：100mm×100mm ・加工精度：3µm ・最小アドレスグ……
・有機溶媒を用いたナノグラフェン合成，液体分析，細胞改質が可能 ・電源9kV，……
・光源：オゾンレスキセノンランプ，燐光用フラッシュランプ ・試料最大サイズ：〜1……
・プラズマ照射後の表面のin-situXPS，FT-IR，STM分析が可能． ……
・触針式・垂直分解能：10nm ・測定距離：50µm～55mm
・大気圧プラズマの質量分析が可能 ・検出質量数1-410
・プラズマ診断用 ・真空チャンバー壁面に設置 ・H，O，N，Cラジカル密度計測可
