・2インチカソード8本 ・試料サイズ30mm角 ・RF電源500W2台 ……
・蒸着源：4cc蒸着源4個、2cc蒸着源2個 ・試料サイズ30mm角 ・高圧電……
（ECRイオンガン：入江工研社製RGB-114） ・マイクロ波入力150W ……
FIB-SEM直交配置FIB,SEM,STEM,ArGun,EDS……
FIB-SEMFIB,SEM,STEM,ArGun,EDSFIB,……
TEM/STEM/SEM観察のための試料作製に関する装置群
・加速電圧：5-200kV・注入電流1µA～100µA
・温度範囲：400～1200℃・昇温速度：200℃/sec
・線源：CuKα線18kW ・多層膜ミラー，Geモノクロメーター付き ・測定……
・スキャン領域：XY方向約90μm，Z方向約6μm ・試料サイズ：最大150……
・4インチカソード3本 ・RF電源500W2台・逆スパッタ機構 ・基盤回転……
・カメラセンサー：グレード1,薄型背面照射型冷却CCD,フレームトランスファ……
