・最大サンプルサイズ：φ160×厚さ48mm ・再現性：1σ1nm以内 ・測……
・基板加熱：抵抗加熱式(～400℃) ・適正ウェハ寸法：不定形～3インチ径 ・……
・最小描画サイズ：0.6µm ・最大描画サイズ：200mmx200mm ・……
・対応サイズ:最大□220mm ・移動範囲:縦横300mm ・移動速度:1……
（ECRイオンガン：入江工研社製RGB-114） ・マイクロ波入力150W ……
・蒸着源：4cc蒸着源4個、2cc蒸着源2個 ・試料サイズ30mm角 ・高圧電……
・2インチカソード8本 ・試料サイズ30mm角 ・RF電源500W2台 ……
・線源：冷陰極電界放射型電子銃 ・加速電圧：0.5～30kV ・倍率：10～50……
・光源：1041nm,550fs,10µJ ・高調波発生ユニット：40……
・最大ワークサイズ：Φ152.4mm ・切削可能範囲（XY）：220mm×……
・ロードロック式装置 ・ウェーハサイズ：6inch ・ボッシュプロセス，ウエハ……
・シリコン系エッチング ・対応基板サイズ：最大8インチ ・プロセスガス：CF4，……
